ecr等离子体参数_ECR微波等离子体离子参数的测量

ECR微波等离子体离子参数的测量中等离子体参数的测量方法有

在等离子体诊断中，Langmuir探针是最早的等离子体诊断手段之一；是低气压冷等离子体应用最广泛的等离子体诊断工具.其突出优点是：结构简单，操作方便。

等离子清洗机有电子回旋共振和螺旋波等离子体吗？

利用磁场中电子回旋共振(Electron，cyclotron，resonance，ECR)的等离子体发生装置模型如图1所示，图1，利用电子回旋共振在低气压下面形成的ECR等离子体，我们知道。